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三氟化硼
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PDF 165918
三氟化硼(CF3)是一种有窒息性,在空气中易遇湿水解的无色气体。
产品特性
三氟化硼气体刺激性强,加热或与湿空气接触会分解形成有毒和腐蚀性的氟化氢气体,腐蚀眼睛、呼吸道和皮肤。
应用说明
三氟化硼常用于半导体集成电路生产的掺杂、离子注入等工艺中。
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