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乙硼烷
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PDF 165831
乙硼烷(B2H6)是最简单的硼烷。常温下是无色液体。
产品特性
乙硼烷化学性质相当活泼,可自燃,且燃烧热很高。与水反应生成硼酸和氢气。与碱金属氢化物可形成越来越复杂的硼氢酸盐。
应用说明
乙硼烷常用于半导体集成电路生产的掺杂、离子注入等工艺中。
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