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砷烷
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PDF 165758
砷烷(AsH3)是一种无色,密度高于空气,可溶于水及多种有机溶剂的气体。
产品特性
常温下砷烷很稳定,分解成氢和砷的速度非常慢,但温度高于230°C时,它便迅速分解。
应用说明
砷烷常用于半导体集成电路生产的掺杂、离子注入等工艺中。
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