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磷烷
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PDF 166478
磷烷(PH3)是一种无色、剧毒、易燃的储存于钢瓶内的液化压缩气体。
产品特性
磷烷需按照高毒性且自燃的气体处理。吸入磷化氢会对心脏、呼吸系统、肾、肠胃、神经系统和肝脏造成影响。
应用说明
磷烷常用于电子混合气生产,用于半导体集成电路生产的掺杂工艺中。
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