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高纯度六氟化硫
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PDF 192601
高纯六氟化硫产品已经通过严格检测清洗和蚀刻试验,反馈的检测报告表明该院产品完全符合“5N”指标,产品质量达到国际先进水平。
产品特性
分子量 146.06,常态下是一种无色、无臭、无毒、不燃、无腐蚀性的气态物质,化学稳定性强,近年来高纯六氟化硫(99.999%)在电子行业的应用发展迅速,是优良的蚀刻气体。
应用说明
高纯六氟化硫在微电子行业中的应用,主要可作为优良的蚀刻气体,在光导纤维制造中,可作为单膜光纤隔离层掺添剂,还可作为重要的激光材料用在激光技术中。
应用领域
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